01 エッチング精度の向上
高性能フェムト秒レーザーは、エッチング精度をナノメートルオーダーで制御できます。これはピコ秒の精度よりも 1-2 桁高いです。 エッジ幅の精度は、um または sub-um のオーダーで制御されます。
02 物的ダメージの軽減
フェムト秒レーザーはピークパワーが高く吸収が強く、ピコ秒レーザーに比べてエッチング熱影響部や溶融深さが浅いため、下地層のエッチングへの影響が少なく、大幅なエッチング加工が可能です。物質的な損傷を軽減するか、損傷がないことさえ実現します
03 下地へのダメージを避ける
UV ピコ秒/フェムト秒レーザー エッチングを使用して透明フィルム層をエッチングすると、下層の材料への損傷を回避できます。
04 プロセス要件の効率的な実現
さまざまなレーザーを連携させることで、さまざまなフィルム層の複雑なパターンを製造するための BC バッテリーのプロセス要件を効率的に満たすことができます。
電池プロセスでは、フェムト秒レーザーを使用することで材料ダメージの軽減や洗浄工程の簡略化が可能となり、コスト削減と効率化を実現します。 高性能フェムト秒レーザーは、ピコ秒以上の処理速度を維持しながら XBC セルの効率的な大量生産をより確実に行うことができ、その結果、最大 26-27% の効率が得られます。
