PVD工具洗浄用のレーザー洗浄システムは、多層コーティング、機械的損傷、溶接面またはシール面の損傷、加熱サイクル時間の短縮、環境および化学試薬の不使用、二次汚染物質の除去を不要にします。チャンバークリーニングはほんの数時間で完了することができます。
レーザー洗浄技術は、ダイヤモンドライクカーボンコーティングや他の耐摩耗性コーティングを含む、最も困難な洗浄が困難な気相堆積物さえも除去することができます。 束ねられたレーザーの力はこれらの「防弾コーティング」を蒸発させます。 最終的に、精密な金属基板は、損傷を受けることなく安全に洗浄することができ、残渣は発生しません。 プラズマチャンバは、洗浄中に手動または半自動的に効果的なレーザー除去を受けることができる。
ＰＶＤ物理蒸着は、物理的プロセスによって物質または分子を供給源から基板の表面に転写するプロセスを指す。 その機能は、特殊な特性（高強度、耐摩耗性、放熱性、耐食性など）を持つ粒子を性能の低い母体にスプレーさせることで、母体の性能を向上させることです。 しかしながら、この方法では、噴霧されたラッカー層はターゲット表面に付着するだけでなく、部品を反応チャンバ内に保持するために使用される器具および固定具の表面とも一体化する。 レーザ洗浄システムは、ワークピースの許容誤差の減少、反応チャンバの密閉不良など、過度のＰＶＤコーティング材料の悪影響を回避して、湿度の増加および加熱時間の延長をもたらす、ＰＶＤツールの表面を効果的に洗浄することができる。
