誰もが知っているように、EUV リソグラフィーを製造できるメーカーは世界で 1 社だけです。オランダの ASML.
メーカーが世界で 1 社だけである理由は、ASML がドイツの光学会社 Zeiss (ツァイス)、米国の Cymer、トルンプ（ドイツ）。
ASML は、投資、買収、株式保有、研究センターの設立などを通じてこれらのメーカーを自社の戦車に結び付けており、これらのメーカーはおそらく世界で唯一これらの製品を生産できるメーカーであり、最終的には世界で ASML だけがこれらの製品を生産できるのです。 EUVリソグラフィーを生産します。
しかし、最近、ASMLの主要なサプライチェーンは工場を建設するために中国の深センに向かい、深センの子会社が宝安中国・ドイツ（ヨーロッパ）産業実証園に定住した。
このメーカーはドイツのTRUMPFグループ(TRUMPF)で、ASMLのEUVリソグラフィー、世界で唯一のレーザー光源サプライヤーです。
EUV リソグラフィーにおける TRUMPF 製品はどの程度重要ですか? まず、EUVリソグラフィーの原理の説明を聞いていただければ理解していただけると思います。
EUVリソグラフィーの原理を簡単に言うと、EUV紫外光源系、対物ミラー系、テーブル系の3つの主要な系が中心となっています。
具体的なプロセスは、レーザーを使用して 13.5nm の波長の極端紫外光を励起し、制御された光ビームを形成するように補正され、対物ミラーを通して露光テーブルに投影される前にフォトマスク テーブルに投影されます。そして最後に、フォトレジストでコーティングされたシリコンウェハー上の回路をエッチングします。
EUV UV 光源システムの 1 つは、スズ (Sn) 金属液滴に出力 30 kW の CO2 レーザーを照射し、蒸発させてプラズマ化し、最終的に波長 13.5 nm の EUV 光を取得することで得られます。
この 30 kW CO2 レーザーは、世界で唯一の TRUMPF によって供給されています。
この CO2 レーザーを過小評価しないでください。部品数は 457,329 個、システム内のケーブル長は最大 7,322 メートル、重量は 17,090 kg あり、これは EUV リソグラフィーの最も重要なコアコンポーネントの 1 つです。
現在、TRUMPFは工場を建設するために中国に駆けつけたが、その意図は明らかである。つまり、中国のレーザー市場について楽観的であり、さらに長期的には中国のリソグラフィー市場について楽観的であり、将来は中国と協力してEUVリソグラフィーを構築する可能性がある。 。
実際、すでに複数の ASML サプライチェーンが中国に工場を建設しようとしています。また、KMWE やその他のメーカーも中国に工場建設を行っています。
現在の傾向によれば、中国のリソグラフィー技術が大きな進歩を遂げるのもそう遠くはないと楽観的に予想でき、EUV リソグラフィーの生産量も期待できると思いますか。
