最近、中国のレーザーメーカーは、{12-}インチの炭化物基板レーザーストリッピングオートメーションソリューションの実装に成功しました。
以前は、中国のレーザーメーカーが「{{8-}導電性シリコン炭化シリコン基板レーザーストリッピング装置」を立ち上げ、今年1月に「最初の国内装備」の認識を獲得しました。
従来のシリコン材料と比較して、炭化シリコンは、より広い帯域ギャップ、融点が高い、電子移動度が高く、熱伝導率が高いことがあります。高温および高電圧条件下で安定して動作する可能性があります。これは、新しいエネルギーおよび半導体産業のアップグレードの重要な材料になり、電気自動車、太陽光発電、スマートグリッド、ワイヤレス通信、その他の分野の技術革命を促進しました。
ただし、全体的なコストにおける基質材料コストの割合は高いままであり、大規模な工業化と炭化シリコンデバイスの促進を深刻に妨げています。コストを削減し、効率を高める重要な方法の1つは、より大きな炭化シリコン基板材料を製造することです。 6-インチおよび8-インチ基質と比較して、12-インチ基板材料は、単一のウェーハでのチップ製造に利用可能な領域をさらに拡張し、同じ生産条件下で出力を大幅に増加させ、ユニットコストを削減できます。
2024年12月、国内の炭化物シリコン大手企業は、最新世代の12-インチ炭化シリコン基板を明らかにしました。国際的な開発動向をリードしている間、彼らはまた、12インチを超える超大型サイズの炭化シリコン基板のスライスの需要を提唱しました。
それに対応して、中国のレーザーメーカーは、「超大型サイズの炭化シリコン炭化物基板レーザーストリッピングテクノロジー」を最速の速度で発売し、12-インチ以上の大規模な炭素炭素帯の「スライシング」問題を解決することをリードしました。
この技術は、炭化シリコンのインゴットの正確な位置決め、均一な処理、および連続的な剥離を実現できます。その優れた利点は次のとおりです。
- オートメーション- インゴットの薄化、レーザー処理、基質除去、その他のプロセスの自動化が実現されています。各プロセスは並行して操作でき、生産ラインは柔軟に展開できます。
- 低損失- レーザーストリッピングプロセス中に重大な損失はありません。その後の薄化プロセスの上面と下の表面から約80-100μmの材料のみを削除する必要があります。従来の切断技術と比較して、原材料の損失は大幅に減少します。
- 高効率- 基板生産時間が大幅に短縮され、これにより、超大型サイズの炭化シリコン炭化物基板技術の研究開発反復が加速されます。また、将来的には超大型サイズの炭化シリコン炭化物基板の大量生産にも使用でき、業界のコスト削減と効率の改善を促進することもできます。
典型的な技術集約型産業として、半導体材料産業はハイエンドの技術と才能の欠如に悩まされており、外国の技術封鎖の年は業界の急速な発展を妨げています。中国レーザーメーカーの設立チームは、ウェストレイク大学のナノフォトニクスおよび機器技術研究所から来ました。チームは、マイクロナノ処理技術と機器機器、マイクロナノフォトン理論とオプトエレクトロニックデバイス、インテリジェントなアプリケーションのための主要な理論と技術など、マイクロナノオプトエレクトロニクスの分野に長年にわたって深く関与しており、中国レーザー製造業者に強力なイノベーションサポートと技術的条項を提供しています。
Yoleの予測によると、2027年までに、シリコンカーバイド電力装置の世界市場規模は67億米ドルに達し、複合年間成長率は33.5％で、新しいエネルギーと半導体の分野の中核材料になります。ホットARメガネは、レンズ材料として「シリコン炭化物」を使用して、パフォーマンス遷移を完了します。 2030年のグローバルARメガネ市場規模は3,000億米ドルを超え、シリコン炭化物材料の適用のためのもう1つの「新しい青い海」になると予想されます。製造プロセスの継続的な進歩とアプリケーションフィールドの継続的な拡張により、最終的には半導体および光学界で炭化シリコンデバイスが輝くと考えられています。
Mrj-Laserは、R＆D、生産、販売を統合する専門的な楽器および機器会社です。高度な製造業の問題点を解決し、マイクロナノオプトエレクトロニクス情報のコアテクノロジーを適用し、精密処理特性評価機器と機器を提供するために位置しています。すべての技術的ブレークスルーを支援するという使命により、それはオプトエレクトロニクス業界の革新的な技術の開発を促進し続けています。
MrJ-Laserは、超高速レーザー処理技術を炭化シリコン基板処理産業に適用し、シリコン炭化物基板レーザーストリッピング装置と統合システムの開発を完了し、炭化シリコン炭化物基板をリードする企業の適用を達成しました。この製品は、中国で最初の機器として認定されています。関連する技術は、窒化ガリウムやダイヤモンドなどの新しい基質材料の処理において有望な応用の可能性もあります。
