最近、フランスのボルドー大学の強力なレーザーとアプリケーションの研究所 (CELIA) のレーザー-物質相互作用研究グループは、ギガヘルツ (GHz) パルス状態で動作するフェムト秒レーザーを使用して、新しいガラス微粒子を開発したと発表しました。 ガラスにクラックが入らず、内壁が滑らかなガラスに、テーパーのない細い穴を開けられるドリリング工法です。
通常、標準的なシングル フェムト秒パルス レーザーを使用してガラスに穴を開けると、長さが有限で内面が粗いテーパー付きの穴ができます。 この新しいレーザーと物質の相互作用メカニズムにより、化学エッチングを一切行わずに、高アスペクト比の穴をワンステップで直接穴あけすることができます。
レーザー パルス パラメーターの選択は、良好な微細加工品質を得るために非常に重要です。 フェムト秒レーザーのギガヘルツ (GHz) パルス モードは、シリコン中間体がガラス中間体に置き換わるマイクロエレクトロニクスなどの新しいアプリケーションへの道を開く可能性があります。
反復単一パルスではなくギガヘルツ パルスで動作するフェムト秒レーザーにより、ガラス材料との相互作用が可能になり、2 つの利点を組み合わせることができます。フェムト秒レーザーパルスの品質が保存されます。 結果として得られるトップダウン パーカッション ドリルにより、内壁が滑らかで、テーパーがなく、細く、クラックのない穴ができます。
