レーザーは、高い方向性、単色度、高いコヘレンスと高輝度によって特徴付けられます。レンズの凝集とQスイッチを通して、エネルギーは非常に小さい空間および時間範囲に集めることができる。レーザー洗浄工程では、主にレーザーの特性が次のように使用されます。
1.レーザーは、時間と空間のエネルギーの高濃度を完了することができます。集中レーザービームは、焦点の近くで数千度または数万度の高温を生成することができ、ほこりが蒸発し、蒸発したり、瞬時に分解することができます。
2.レーザービームの発散角度が小さく、方向が良好です。同じレーザーエネルギーの条件下で、レーザーのエネルギー密度は、異なる直径のレーザービームスポットを制御することによって調整することができるので、加熱するとほこりや汚れが膨らむ。塵の膨張力が基板上の塵の吸着力よりも大きいと、塵が物体の表面を離れる。
3.レーザービームは、ほこりが壊れて落とすことができるように、固体の表面に超音波と機械的共鳴を生成することができます。レーザー洗浄技術は、レーザーの特性を使用し、その後、クリーニングの意図に達します。洗浄された基板と洗浄された埃の光学特性によれば、レーザー洗浄のメカニズムは、2つのカテゴリに分けることができます:1つは、クリーニング基板(母親とも呼ばれる)と外部付着(汚れ)を使用して、特定の波長でのレーザーエネルギーの吸収係数が大きく異なっているということです。表面に放射されたレーザーエネルギーのほとんどは、表面アタッチメントによって吸収され、その後、加熱または気化、または瞬時に膨張し、形成された空気の流れによって駆動され、物体の表面を離れ、洗浄の意図に達する。しかし、この波長ではレーザー吸収エネルギーが非常に小さいため、基板は損傷を受けないだろう。この種のレーザー洗浄には、適切な波長を選択し、レーザーエネルギーのサイズを制御することが、安全で効率的な洗浄を完了するための鍵となります。もう一つは、レーザーエネルギー吸収係数の基板と表面の付着物の洗浄に適しており、又は、コーティング加熱により形成される酸性蒸気に対してより敏感である基板、またはコーティングは加熱後に有害物質を生成する。この種の方法は、通常、高出力および高繰り返し速度パルスレーザーを使用して洗浄面に衝撃を与え、ビームの一部が音波に変換されるようにします。音波がベース層の硬い表面に当たった後、背面はレーザーの入射音波と相互作用し、高エネルギー波が発生し、コーティングが小さな範囲で爆発する原因となります。コーティングは粉に押し込まれ、真空ポンプによって取除かれ、下の基材は損傷しません。
レーザークリーニングマシン
クリーニングサンプル













