2025 年 12 月 2 日、トーチ ハイテク ゾーン-でのオプトエレクトロニクス産業技術のマッチング イベントと組み合わせた、レーザー産業の開発と応用技術に関するセミナー「知恵の集い中山: 科学技術イノベーション講演会{{2}: 科学技術イノベーション講演会-: 科学技術イノベーション講演会-」-] が広東省中山で盛大に開催されました。 Huari Laserは出席に招待され、華中科技大学と長春科技大学の専門家や学者に加え、多数の業界リーダーとともにレーザー産業の将来を探求しました。 Huari LaserのXie Gehui博士は「半導体計測における国産超高速レーザーの応用」と題した基調講演を行い、この分野における同社の最新の進歩と国内応用の見通しを紹介した。
半導体業界の競争は、精密製造と歩留まり管理の競争です。チップ製造プロセスが縮小し続ける時代において、ナノメートル スケールで内部構造を明確に視覚化するにはどうすればよいでしょうか。{0} Huari Laser は、国内で開発された堅牢なソリューションを提供しました。半導体計測はチップ製造の「目」として機能します。 Xie Gehui 博士は、ウェーハ製造プロセスがますます複雑になるにつれて、従来の検査方法では要求を満たすのが困難になっていると指摘します。超短パルス レーザーは、その極端な光学特性を利用して、科学研究と産業分野の両方にとって革新的なツールとして登場しました。{4}}
Xie Gehui博士はプレゼンテーションの中で、Huari Laserの2つの重要な技術応用を強調しました。
1. **フェムト秒超音波テクノロジー (内部チップ「超音波」):** 不透明なサンプルと多層薄膜構造をターゲットとする Huari Laser は、フェムト秒「ポンプ-プローブ」技術を採用しています。超高速のフェムト秒時間分解能を活用することで、システムはナノメートルスケールで微細な構造変化を正確に検出できます。これは、薄膜の厚さ測定や内部チップ相互接続の検査に適用され、非接触、非破壊検査 (NDT) 技術を代表するものです。-
2. **デュアル-コム分光技術（高-精度「スペクトル指紋採取」）:** Xie博士は、デュアル-コム技術を使用したマイクロ-ナノイメージングの画期的な進歩を紹介しました。この技術により、機械的なスキャンを必要とせずに高精度、高速、高分解能の光学測定が可能になり、半導体マイクロ-構造の 3D イメージングに強力な技術サポートを提供します。
**主要なブレークスルー:** Glow シリーズ 532nm 緑色フェムト秒レーザー-は、トップクラスの国際製品に匹敵する製品です。-
Xie 博士は、高精度の測定はノイズ性能に優れたレーザーに依存していると強調しました。-半導体計測では、相対強度ノイズ (RIN) と位相ノイズ (タイミング ジッター) が測定ノイズ フロアを決定する重要な要素です。グロー グリーン フェムト秒レーザーには、計測アプリケーション向けに次の最適化が組み込まれています。
1. **低ノイズ:** 斬新なキャビティ設計とパッシブノイズ抑制方式を特徴としています。キャビティ内の分散と非線形効果を正確に制御し、ノイズを最小限に抑えます。
2. **高い安定性:** 24 時間 365 日の連続稼働をサポートします。光絶縁機能と高い安定性を備えた全ファイバー増幅機能が組み込まれています。-メンテナンスは-無料です。
3. **簡単な統合:** 空冷式の熱管理と統合された工業デザインにより、システムの統合が容易になります。-
卓越した低ノイズ性能と安定性により、測定精度、感度、効率、動作信頼性の限界を押し上げました。-これらの進歩により、国内で製造されたレーザーは海外のレーザーと真っ向から競争できるようになり、半導体検査や計測などのハイエンド アプリケーションの厳しい要求に応えられます。--
Huaray Laser は、50,000 台を超えるレーザーの大量納品の経験と包括的な業界チェーン構造を活用し、-「中国製」の堅牢な機能を利用して外国独占を打破し、チップ設計からウェーハ製造に至るプロセスのあらゆる段階を活性化しています。-今後も、Huaray Laser は業界パートナーと協力し、顧客の課題に対処することに引き続き取り組んでいきます。同社は、ますます高精度で安定した国産レーザー光源を提供することで、中国の半導体産業の自立と自立への道を照らすことを目指しています。{5}
