レーザーは、20 世紀の自然科学の主要な発明の一つです。1960 年に、最初のレーザーは、世界で生産されました。その後、良いコヒーレンス、小さな敵角高エネルギー集中とレーザーはレーザー測距、レーザー加工とレーザー通信など様々 な分野で広く使用されています。1980 年代初期に、人々 は汚れ、錆や瞬時に蒸発または皮をむくため、コーティングの表面を引き起こして、ワークピースの表面を照らすに高エネルギー レーザーを使用し、効果的の表面にコーティングまたは添付ファイルを削除し始めた、高速でオブジェクト。材料表面のクリーニングのプロセスは、レーザ クリーニングです。過去 10 年、レーザ クリーニングが移動研究室から実用的なアプリケーション、各種ゴム製品金型、油、さび、文化遺跡、マイクロエレクトロニック回路基板、クリーニング、その他の材料を削除するシリコーン製品金型に使用して非常に良い経済と社会の利益を達成しました。
1980 年代、メモリ テンプレートに小さな粒子を除去する工業生産のニーズを満たすためにレーザー クリーニング受けた広範な関心と研究と研究者が有効な洗浄方法として正式に認め使用してみました。機械的洗浄、化学洗浄、テンプレートに添付されたサブミクロン粒子を除去する超音波洗浄など従来の洗浄方法が理想的な未満。吸着からテンプレートの表面の吸着力、1 μ m サイズの粒子は約 106 倍の重力と、機械のようにテンプレート (ファンデルワールス力、静電気力、等) の粒子の力はびっくり、洗浄方法を完了できません。微粒子の除去、化学洗浄腐食やテンプレートの処理につながります。超音波洗浄と、破裂するテンプレートを原因となるソニック振動の中心に配置するテンプレートが必要です。レーザー クリーニングはこのような状況の下で生産されています。この場合、人々 はそれを体系的に勉強し始めた: その外観は、テンプレートの表面の汚染の問題を解決しているし、レーザー洗浄技術の発展に伴い、それはまた広く使用されて他の多くの分野で。
1980 年代後半には、科学者たちは、液体補助層と基板の表面をカバーした粒子の汚染除去をより助長を発見します。その中で、水はこのような効果的な補助レイヤーです。ミリメートルと汚染粒子を除去するレーザーを照射し、オーダーの厚さは後いわゆるスチーム (ウェット) レーザーのクリーニングを有する液膜で洗浄する必要資料の表面を覆う方法と比較して、乾燥タイプ。レーザー洗浄、蒸気洗浄、洗浄効率。それまでなかった 1990 年代初頭レーザー洗浄で工業生産本当に入力されています。実際には、ほとんど、1987 年に 3 つの研究グループ独立して検出レーザー クリーニングの効果。その中で、研究チームはレーザー洗浄に関する最初の特許を取得した Zapka が率いる、業界でそのアプリケーションの見通しを認識しました。別の研究グループは、マックス ・ プランク生化学ととく、シリコン テンプレート 35 のサイズを持つゴールドの粒子で覆われていた科学者の物理学の nm の, し、窒素分子レーザー直接照射固体表面とその結果、表面の金粒子は削除された正常にシリコン テンプレートが破損していない、固体の表面をきれいにレーザーが使用されたことを示す間。汚染粒子が実現可能です。
2001 年に Fourrier とそのコラボレータ蒸気レーザ粒子の異なった形、サイズ、および数十数百ナノメートルの範囲の異なる粒子に必要なレーザーの強度等の実験をクリーニングを実行しました。しきい値は、同じです。この「広く一貫したしきい値」は、工業用蒸気レーザ クリーニング サブミクロン粒子を除去するのより有利なサポートを提供します。レーザー洗浄の開発は表面に固体粒子の洗浄に基づいて、他のアプリケーションの研究をそれに応じて行われています。たとえば、1970 年代に、研究と実験後、分られた歴史的建造物や芸術作品にレーザーを洗浄します。可能性があります。1992 年にユネスコ正常にレーザー洗浄修復に使用イギリスのヤスミン大聖堂。ヨーロッパの一部の国もきれいにレーザーがあるアミアン大聖堂 (フランス)、聖シュテファン大聖堂 (ウィーン、オーストリア)、(ワルシャワ、ポーランド) 無名戦士の墓。ストリッピングでのレーザーの応用は研究者の注目を集めていました。アメリカ合衆国ウッドロッフスラストらは、この分野での作業の多くを行っています。
1990 年代、ドイツと日本の研究者はレーザー塗装剥離、ハイパワー茶 CO2 レーザを開発し、一連の実験を行うために使用します。それまでなかった 2005年高出力茶 CO2 レーザを使用して航空機の除去に関する論文を研究者に公開。様々 な国からの科学者がまたタイヤ金型、表面処理、宇宙こみ、他の側面の適用に関する探索的研究の多くをした、顕著な結果を達成しました。
