レーザー洗浄の分類と方法

基材材料の特性によれば、基板表面の精度、表面粗さおよび粒子状汚染物質の種類、現在のレーザー洗浄方法は、以下の2つのカテゴリに分けることができる。1) レーザークリーニング。レーザーは物体の表面に直接照射し、粒子を汚染したり、表面のエネルギーを吸収し、熱拡散、光分解およびガス化によって表面を離れる粒子を作る。2)レーザークリーニング。洗浄する材料の表面に、汚染されていない液体(主に水、時にはアルコール)をスプレーし、レーザーで照射します。レーザーエネルギーを吸収した後、液体媒体は爆発性気化を生じ、その周りの汚染粒子を材料表面から遠ざけます。また、いわゆるレーザー化合物洗浄方法が提案されている。レーザー洗浄は基板材料によって吸収され、次いで吸着中間媒体が熱対流によって加熱され、中間媒体は爆発性気化を生じる。高い空気流によって駆動され、粒子は中間媒体と共に基板表面から分離される。